中华武数·科创之星｜许保云：不断打破国外垄断，实现高端试剂国产化|天天百事通

上海普陀| 2023-06-11 14:52:08

编前语

武宁创新共同体，是普陀区“中华武数”科创布局的“武”字要义。这里更是串联全区创新资源的关键——一条武宁路贯穿普陀东西、辐射南北两翼，把普陀乃至上海中心城区与长三角紧紧联系在一起。武宁创新共同体集聚2家高校、16家科研院所、近百家科创平台和近千家科技企业，更有数以万计的科学家、科研工作者、科创新秀们挥洒不悔青春、勇攀科技高峰。“中华武数·科创之星”栏目带你走进这群新时代的“科技追梦人”，解码他们的科创筑梦、科学圆梦的品质人生。

科创之星档案

(资料图)

许保云：第十四届全国人大代表、上海化工研究院有限公司总工程师、长期从事高效精密分离技术研究及工程推广应用方面工作的领军人物。

许保云

许保云是一位名副其实的“熟普”。

2009年毕业后，她一直在上海化工院工作。而上海化工院自1956年成立以来，就一直扎根在苏州河畔。

“本硕博期间，我主要从事化工过程传质与分离方面的研究工作。”许保云进一步介绍说，精馏分离技术是化工生产过程中常用的单元技术之一，随着石油化工产业的发展，国内的化工分离技术研究水平总体达到国际先进水平。“但是涉及集成电路、生物医药等产业需要的如高纯化学物质、高端试剂等，关注的人就比较少了。”

为此，许保云带领团队又一次走在了科技创新的“最前沿”——呼应产业需求，围绕集成电路产业所需的电子特气、高纯试剂做科技研发。据介绍，近三年来，她带领团队连续攻克了电子蚀刻剂六氟丁二烯和高端芯片制造过程中用到的离子注入气“三氟化硼-11”的关键技术突破。

不仅如此，“电子级三氟化硼-11”项目去年还实现了产业化装置的投产和运行。许保云介绍说，三氟化硼-11主要用于高端芯片的制造，此前国内一直处于依赖进口的状态，国产化开发成功以后，不仅打破国外垄断，对于支持集成电路产业的高质量发展也发挥了积极作用。

扎根普陀，许保云对未来的发展充满信心。

上海化工研究院

“化工院在武宁路上，是老牌的大院大所，武宁路又是上海连接长三角的主干道，上海化工研究院作为应用型科研院所，一直非常注重产学研合作。成立60多年来，我们和政府、高校以及产业的产学研合作十分密切，效果也不错。”许保云介绍说，今年初，由上科院牵头组建的长三角院所联盟，化工院也作为首批院所成员单位加入其中，未来将立足普陀，更大范围、更深层次地辐射长三角地区的科研、产业化合作。

丁婉星